在扫描电镜样品制备过程中最常用的靶材为金和碳。
产品特点
可以通过调整参数实现离子注入、刻蚀加工，通过样品台、离子源、控制系统的选择来完成等离子清洗、离子减薄等操作，一机多能。
制样系统的特点
对样品损伤小
颗粒度更小
膜更均匀
