1，玻璃处理室：φ100毫米，高度130毫米
2，试样台尺寸：φ40毫米可同时放6个样品杯
3，金靶尺寸：φ57毫米
4，真空系统：直联旋片真空泵2升/秒
5，真空检测：皮氏计
6，真空保护：20Pa（配有微量充气阀调节工作真空）
7 ，工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节
